The research of DSP digital compensation technology application for MEMS piezoresistive pressure sensor

摘要

传感器技术是当今世界令人瞩目且发展迅猛的高新技术之一，也是当代科学技术发展的一个重要标志。无论是在工业生产领域，还是在日常的生活当中，每一项技术都离不开传感器。 设计和制造一个高精度、高稳定性的压力传感器，主要在两方面进行考虑，一是原理和结构的设计，涉及弹性体材料、应变合金材料的选取，应变结构的设计，镀膜、光刻、热处理等工艺的研究。另一方面是传感器探头的信号调理，主要是对传感器探头的输出信号进行放大、有效信号转换，并对零点、线性、温漂等误差进行补偿，进一步提高产品性能。特别在环境温度变化较大的场合，带来的测量误差较大，一般需要进行综合技术补偿。 如今经过MEMS(微机电系统)制作的压力传感...