以气相氢原子活化金刚石附氢(111)面的分子轨道方法研究

摘要

在低压化学气相沉积条件下,金刚石附氢表面脱氢势垒的大小是金刚石薄膜生长动力学的重要理论参数,前人用不同方法对该势垒值的计算给出了很不一致的理论结果。本文应用多种分子轨道方法对金刚石附氢(111)面的脱氢势垒进行了系统研究,比较了各方法计算的过渡态结构,给出了经修正的理论预言值,并论证了不同分子轨道方法计算结果的优劣,评价了前人不相一致的理论结果。