非接触测量物体表面粗糙度的研究

摘要

ＣＤ机中，为跟踪盘片，其伺服系统必须能检测到盘片的微小的位移。在本论文中，将ＣＤ头的工作原理应用到物体表面粗糙度的测量当中，可使测量系统小型化。