一种非接触测量深孔内表面粗糙度的测量装置和方法

摘要

本发明提供了一种非接触测量深孔内表面粗糙度的测量装置和方法，该装置包括运动控制模块、激光器、耦合装置、发射光纤、光纤传感器阵列、光电检测模块、数据采集卡和计算机，运动控制模块牵引光纤传感器阵列在待测孔内移动，光纤传感器阵列包括多个光纤传感器；同时激光器发射激光光束，经耦合装置传入主发射光纤，再经过多个从发射光纤传至光纤传感器，直角微棱镜使激光垂直照射到待测孔的内表面上，经待测孔的表面散射的激光由接收光纤接收，并经光电检测模块处理，再经数据采集卡转换，最后由计算机实现粗糙度的计算和显示。本发明能同时测深孔内表面四条母线上的表面粗糙度，可以有效剔除偏心测量时的数据点，以提高系统测量精度。