定向沉积法对Nd_2Fe_(14)B薄膜形态和磁性能的影响

摘要

采用直流励磁磁控溅射法制备Nd2Fe14B稀土永磁薄膜。通过对衬底预热,在溅射过程中持续动态加热并保温10min,实现定向沉积。主要考虑了该方法对薄膜磁性能的影响。结果表明薄膜取向度良好,有明显柱状生长迹象。薄膜矫顽力大大提高,H⊥/H∥比值改善。在预热温度200℃逐渐加热到500℃并保温10min时,薄膜磁性能最佳。