定向沉积法对Nd_2Fe_(14)B薄膜形态和磁性能的影响

摘要

采用直流励磁磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜。研究分析了衬底预热与定向沉积法对薄膜结构和磁性能的影响。实验结果表明:定向沉积技术制备出的NdFeB薄膜表面形成单一方向的柱状晶,该柱状晶生长方向垂直于薄膜表面,使薄膜具有良好的磁各向异性,薄膜矫顽力大大提高,H⊥/H∥比值改善。在预热温度200℃逐渐加热到500℃并保温10min时,薄膜磁性能最佳。