微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究

摘要

本文系统研究了石英钟罩式微波等离子体辅助化学气相沉积装置对沉积金刚石薄膜的影响。与石英管式微波等离子体沉积装置相比，该装置能使用较高的沉积气压、较大的气体流量和较高的微波功率。本文着重研究了沉积气压、气体流量和甲烷浓度对金刚石薄膜形貌和生长速度的影响。发现生长速度随着沉积气压和甲烷浓度的增大而增大，晶体形态随着甲烷浓度的增大而变差。并使用该装置成功地在４００℃低温沉积了６０ｍｍ的金刚石薄膜。