扫描电镜X射线能谱分析法测定低能重离子注入黄豆种子的深度

摘要

利用200kV 离子注入机产生的 Fe^+、Cu^+和 Zn^+3种重离子分别对黄豆种子进行直流注入,以扫描电镜X射线能谱分析法测定低能重离子的注入深度。测量定结果表明,Fe^+的最大注入深度未超过18μm,Cu^+、Zn^+的最大注入深度可达25μm。