聚酰亚胺气相沉积聚合的研究进展

摘要

综述了一种新的制备聚酰亚胺(P I)薄膜的方法——气相沉积聚合(VDP)的研究进展,用此方法制得的聚合物膜具有纯度高、膜厚可控、可实现保形涂敷、可制备难溶难熔聚合物、集聚合与成膜为一体等优点。讨论了单体种类、气化温度、真空度、沉积基质、沉积时间和酰亚胺化的温度、压力、时间等对P I的VDP过程的影响,展望了VDP法制得的P I薄膜的主要应用领域。