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章定康; 余山; 孙有民; 黄敞;
航空航天部骊山微电子学研究所;
自对准; 硅化钛; 溅射; 亚微米; CMOS;
机译:利用筛选和响应表面实验设计开发0.5微米CMOS自对准硅化钛工艺
机译:自对准硅化钛在亚微米CMOS中的接触和浅结特性研究
机译:适用于四分之一微米以下CMOS器件的低电阻自对准钛硅化物技术
机译:亚微米微米CMOS的新型自对准硅化物工艺(SEDAM)设备
机译:用于深亚四分之一微米MOSFET的激光辅助硅化钛的制造。
机译:用于亚微米像素的45 nm堆叠式CMOS图像传感器处理技术
机译:低功耗芯片级工艺变化和温度监控器,用于深亚微米CMOS的良率分析和优化
机译:用于亚半微米ULsI结构的铜电镀工艺
机译:亚微米微米自对准硅化钛工艺的双多晶硅栅极结构的制造方法
机译:亚四元微米自对准钛硅化物工艺中双硅树脂闸门结构的制造方法
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