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张晓丹; 赵颖; 朱锋; 魏长春; 高艳涛; 孙建; 侯国付; 薛俊明; 张德坤; 任慧志; 耿新华; 熊绍珍;
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;
南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室;
光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学;
天津大学);
纯化器; 制备; 光敏性; 降低; 硅薄膜; 晶化; 氧含量; VHF-PECVD; 有源层; 纳米硅;
机译:氢稀释对等离子体增强化学气相沉积制备氢化纳米晶硅薄膜的纳米结构和电光特性的影响
机译:沉积参数对低频PECVD法制备多晶硅薄膜结构,电学和光学特性的影响
机译:通过在硅上对多晶硅薄膜进行热氧化制备的结构化隧道氧化物的特性
机译:通过VHF-PECVD制备的玻璃上的硼掺杂微晶硅薄膜的微结构和电气演进
机译:硅化物和器件结构对有源矩阵液晶显示器用多晶硅薄膜晶体管的特性和电路性能的影响。
机译:Q-系数提高薄膜压电对硅MEMS谐振器通过呼吸晶体反射器复合结构
机译:氢对Vhf-Pecvd制备的A-Sinx薄膜发光特性的影响
机译:喷射羽流对机床纵向稳定性特性的影响研究:不同翅片结构,马赫数为0.2~2.3(普通喷射羽流模拟器)。
机译:制备具有确定的不均匀光学特性的玻璃,包括制备不同组分的混合物,这些组分对玻璃性能的影响不同,并将该混合物暴露于力的作用下
机译:在不同区域提供具有不同光学特性的多晶硅光子器件的方法和光电结构
机译:提供在不同区域具有不同光学特性的多晶硅光子器件的方法和光电结构
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