用于生物芯片的标准CMOS工艺光电传感器

摘要

在分析光电二极管转化效率的基础上,分别使用nwell/psub光电二极管和p+/nwell光电二极管设计了有源像素单元.采用SMIC0.18μm工艺流片.测试结果显示使用nwell/psub二极管的有源像素单元对黄光的灵敏度是3.32V/lx.s,对绿光的灵敏度是2.79V/lx.s,使用p+/nwell二极管的有源像素单元对黄光灵敏度是0.69V/lx.s、对绿光的灵敏度是0.52V/lx.s.