薄膜X射线应力测试三种衍射几何比较

摘要

对比了薄膜 X射线应力测试的三种衍射几何 ,结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点 ,所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。应用掠射侧倾法测量了 PVD和 PCVD工艺的 Ti N薄膜的内应力情况 ,结果表明制备工艺对于气相沉积膜内的应力状态有较大影响。