複合硬質膜の残留応力の評価: X線回折法による応力評価

摘要

近年，構造材料に対する苛酷な環境下での使用の要求が強くなるに従い，材料の表面を改質して耐摩耗性，耐食性，耐熱性の付与，摩擦•潤滑特性の向上などの高付加価値を与えることができる表面被覆技術が注目されている.この被覆技術は大別して，化学的蒸着法（CVD)と物理的蒸着法(PVD)に分けられる.たとえば，切削工具に対して，セラミックス硬質膜であるTiN.TiC,Al_2O_3,TiAIN,TiCNなどを被覆することは広く行われており，さらに高能率加工に向けて複合硬質膜技術へと進歩している.