GaAs高温栅全离子注入平面工艺及GaAs数字二分频器

摘要

介绍了一种适用于砷化镓数字电路的Bp—SAG工艺。在该工艺基础上研制的GaAs数字二分频电路,最大工作频率达到2.25GHz,等效门延迟为92ps。