电沉积铜层的力学和电学性能的研究

摘要

通过改变镀铜工艺中的阴极电流密度参数 ,测定了所获得镀铜层的硬度及电阻率。结果发现 ,镀铜层的硬度和电阻率开始都随阴极电流密度的增加而增加 ,当阴极电流密度大到一定程度时 ,它们的值又都达到平衡 ;而经过时效处理后 ,镀铜层的硬度和电阻率随时间的积累均呈减小的趋势 。