退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
李仁;
中国电子科技集团公司第四十五研究所;
半导体; IC; 清洗技术; 湿法清洗; RCA清洗; 稀释化学法; IMEC清洗法; 单晶片清洗; 干法清洗;
机译:下一代半导体清洗技术:大日本丝网制造公司的清洗/干燥技术设备-介绍与半导体器件小型化有关的问题以及我们的清洗/干燥技术和设备
机译:下一代半导体清洗技术:MFI清洗技术/用于45纳米或更高版本的先进半导体器件的设备清洗工艺
机译:下一代半导体清洗技术:筑波半技术单晶片清洗装置-非化学清洗技术
机译:IC制造中CMP后清洗的一种新技术
机译:半导体表面湿法清洗技术的高性能研究
机译:使用半导体和金属 - 半导体的温和条件下的甲烷转化为异质光催化剂:现有技术和挑战
机译:通过应用半导体制造工艺,开发2.1 / 2.5D-IC的高度可靠的Cu布线技术
机译:真空烘烤和紫外 - 臭氧清洗在IC(集成电路)封装密封中的作用
机译:电子驱动器设备在驱动器末级IC和通过不同半导体技术制造的第二IC中具有不同的组件
机译:结合水和低温清洗技术对半导体晶片表面进行CMP后清洗
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。