不同入射角Ar^+离子轰击Ag靶表面的形貌变化特征

摘要

本文报道了一种用Ａｒ＋以不同入射角轰击Ａｇ表面时形成锥体形貌的方法．不同溅射表面所形成锥体丛的平均高度分别为：（ａ）入射角φ为２０°时约１μｍ；（ｂ）φ＝４０°时约１５μｍ；（ｃ）φ＝６０°时约７μｍ；（ｄ）φ＝７０°时约为８μｍ，并随入射角φ的增大而增加．我们认为这些变化特征是在离子轰击表面的溅射过程中形成的．