硬质合金上沉积金刚石膜提高粘结力的研究

摘要

在基底涂覆巴基管的条件下，采用热丝法以三种不同的工艺方法生长出与硬质合金具有好的结合力的金刚石薄膜。用Ｘ射线衍射、扫描电镜和拉曼光谱检查了不同工艺生长的金刚石膜的质量；用洛氏硬度压痕法估计了膜与基底的结合力。试验结果表明，采用沉积后缓冷试样的金刚石膜的结合力最差；