预处理工艺对硬质合金与金刚石膜间粘结力的影响

摘要

在两种经不同预处理的硬质合金YG8基底上 ,采用微波等离子体化学气相沉积法 ,在微波功率 2kW ,压强4 .0kPa和 6 .5kPa ,CH4 和H2 流量分别为 1.6cm/s和 10 0 .0cm/s的条件下生长金刚石薄膜。利用X射线衍射检测了金刚石薄膜是否存在 ,用拉曼光谱分析了薄膜的质量 ,用金相显微镜观察了薄膜的洛氏硬度压痕 ,标定并比较了不同预处理工艺膜与基底的结合力。实验结果表明 ,不同的预处理方法对于粘结力的影响不大 ,最主要的因素是钴含量的多少。