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秦宁; 赵湛; 陈绍凤; 夏善红;
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室;
SU-8光刻胶材料; 微针执行器; 电磁驱动; 微量取样执行器; MEMS;
机译:基于SU-8的微针在神经应用中的功能生存力研究
机译:基于SU-8悬臂结构的柔性电流变微阀(FERV)及其在微执行器中的应用
机译:用微流体互连的硅衬底上的SU-8空心微针的研制进行透皮药物递送
机译:V型SU-8电热微执行器的寿命和非线性驱动行为的实验研究
机译:微加工的聚对二甲苯微针和气动/液压执行器,用于介入性,经血管给药。
机译:通过双拉伸光刻技术开发用于透皮给药的垂直SU-8微针
机译:空心微针的高纵横比SU-8制备技术,用于透皮药物输送和血液提取
机译:采用sU-8光刻胶的220-GHz片状光束放大器光栅的UV-LIGa微加工
机译:SU-8微针用于监测和神经刺激。
机译:微针芯片组件,微针芯片,医疗仪器,微针芯片组件的制造方法以及微针芯片的制造方法
机译:微执行器和微针
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