Al合金等离子体基离子注入形成AlN/DLC层结构研究

摘要

用 Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）和小掠射角Ｘ射线衍射（ＧＡＸＲＤ）研究了铝合金 ＬＹ１２等离子体基离子注入 Ｎ＋ 原位注入 Ｃ形成ＡｌＮ／ＤＬＣ（类金刚石碳膜）改性层的成分分布及相结构，用激光 Ｒａｍａｎ光谱分析了表面单一碳层的结构，对 过渡层元素进行了 Ｇａｕｓｓｉａｎ—Ｌｏｒｅｎｔｚｉｏｎ峰位拟合分析．结果表明，Ｎ浓度在注入层呈Ｇａｕｓｓ分布，Ｃ浓度沿注入方向逐 渐减小．Ｃ的注入使 Ｎ分布有所拓宽．Ｃ在表面还能形成一层单一稳定的 ４００ ｎｍ厚的 ＤＬＣ膜．过渡层主要由 Ａｌ４Ｃ３， Ａｌ２Ｏ３，ＡｌＮ，β－Ｃ３Ｎ４等组成．改性层总厚度达 ８００ｎｍ．