掺氮类金刚石薄膜的制备与性能研究

摘要

利用空心阴极放电在玻璃基底表面沉积掺氮类金刚石(DLC)薄膜。拉曼光谱(Raman)分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构。扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜表面形貌和粗糙度;利用摩擦磨损仪测量膜的摩擦磨损性能。结果表明,氮的掺入使得薄膜中颗粒致密平整,改变了薄膜的表面微观形貌,进而改善了薄膜的摩擦磨损性能。