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胡一贯;
中国科学技术大学物理系;
ECR离子源; 等离子技术; 亚微米技术;
机译:在1-2M恒星发生器中等离子体的电子回旋共振加热期间,在等离子体密度加倍且回旋共振区域位移下,微波的反射和反向散射
机译:a sup>在具有大磁体的大口径电子回旋共振离子源上利用多频微波和有源束轮廓控制产生电子回旋共振等离子体
机译:勘误:等离子体薄板电子的共振散射导致扩散的极光沉淀:1.评价静电电子回旋加速器谐波,“等离子体薄板电子的共振散射导致扩散的极光沉淀(地球物理研究杂志A:空间物理学118(839-842) )DOI:10.1002 / jgra.50154)
机译:电子回旋共振等离子体对共振磁场对a-Si:H薄膜沉积的等离子体诊断
机译:用于电子材料蚀刻的高密度电子回旋共振和感应耦合等离子体源的比较:电子材料的新等离子体蚀刻方案。
机译:等离子体技术中金的介电功能:等离子体球共振频率的大小依赖性和纳米球的阻尼速率
机译:用于低损耗集成光学的低温电子回旋共振等离子体技术
机译:大气压等离子体电子回旋共振等离子体及其应用
机译:用于处理基板的等离子体反应器,包括用于引发电子回旋共振(ECR)和离子回旋共振(ICR)条件的装置
机译:利用感应耦合型电子回旋共振等离子体的等离子体处理装置和等离子体产生装置
机译:处理电子导体结构的电子回旋共振-等离子源,处理电子导体结构的方法,制造电子器件和集成电路(变型),半导体器件(集成电路设备)的过程
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