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张继成; 吴卫东;
无;
电子回旋共振; 微波等离子体; 离子束刻蚀; 靶; 制备调制;
机译:电子回旋共振维持的偶极微波等离子体的建模
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积法沉积纳米柳絮碳膜的电子场发射特性
机译:中性分子化学在能够沉积金刚石的电子回旋共振微波等离子体中的作用
机译:电子回旋共振的粒子模拟微波等离子体产生
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:电子回旋共振离子源增强离子注入钛的理化和生物学特性
机译:在甲烷的分布电子回旋共振激发的多极微波等离子体中沉积并转变为粉状等离子体的方法
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积法研究氮等离子体不稳定性及氮化硅的生长
机译:在电子回旋共振领域中产生微波等离子体的方法和装置
机译:电子回旋共振控制微波等离子体源等离子体密度三维分布的方法
机译:负音平版印刷术和离子束刻蚀技术在自旋扭矩薄膜制造中的应用
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