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潘峰; 钱省三;
上海理工大学工业工程研究所/微电子发展研究中心;
半导体; 晶圆制造; 产量; 生产周期; 优化方法; 投料/产出速率; 效用函数; 多H标决策;
机译:面向时间周期的半导体晶圆制造中期生产计划
机译:晶圆制造厂中模糊神经工作周期时间估计方法性能优化的迭代过程
机译:基于响应面方法的基于仿真的半导体晶圆制造系统调度规则优化
机译:数据挖掘方法可优化半导体晶圆制造中生产资源的分配
机译:一种基于事件优化模型和离散事件仿真的半导体晶圆制造目标调度方法。
机译:晶圆制造行业设施中各种化学物质的定量暴露评估
机译:一种优化晶圆制造厂模糊神经工作周期时间估计方法性能的迭代程序
机译:用于半导体晶圆分析的全晶圆宏观检测软件方法的开发
机译:从晶圆保持部件中跳出的方法,晶圆中的部分裂纹的检测方法,在CMP装置中晶圆中的跳出的方法,CMP装置中晶圆中的部分裂纹的检测方法以及在晶圆中的部分跳动的检测方法脱离晶圆生产商
机译:晶片平坦度评估方法及实施该评估方法的装置;使用评估方法的晶圆生产方法,使用评估方法的晶圆质量保证方法,使用评估方法的半导体器件生产方法以及使用评估方法评估的晶圆的半导体器件生产方法
机译:优化制造工艺,尤其是晶圆厂中的半导体晶圆生产,从而将生产站进行分组并将负荷分配给它们,以便可以看到总体负荷分布
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