半导体材料性能检测技术的新进展

摘要

综述了近年来半导体材料性能检测技术的新进展，特别重点地介绍了高空间分辨的快速、无损、自动测试技术发展现状及其在评价半导体材料微区性能方面的重要作用，希望能引起国内同行的重视，使我国的半导体材料测试分析技术上一个新台阶。