高频等离子体气相反应法制备氮化硅超微细粉

摘要

用高频纯氮等离子体为热源的SiCl_4-NH_3-H_2系的高温气相反应,合成得到了白色非晶态Si_3N_4超微细粉。反应系统的结构及材质均能满足高温气相反应的要求。氮化硅超微细粉呈球形、均匀、分散性好,平均粒径小于50nm,比表面积大于70m^2/g。粉末产品纯度高,Fe、Al、Ca、Mg等金属杂质均小于0.01％,含碳量小于0.05％,含氧量小于2％。主相成分中含氮量大于37％,含硅量大于57％。