超高真空粘附、摩擦实验装置的研制

摘要

本文描述了我们研制的超高真空粘附、摩擦实验装置,实现了超高真空条件下原位分析不同固体表面对粘附、摩擦性能的影响。实验研究证明该装置性能稳定,能满足设计要求。