固体表面化学反応のための超高真空分子線装置 の開発

摘要

固体表面の研究は電子デバイスを筆頭に，光触妹，燃料電池などの 分野で重要な機能性薄膜などの研究とあいまって，低環境負荷の高度 情報化社会の実現に向けて大きな役割を担ってきた。また，その産業 的·応用的なさらなる発展には，基礎的·学術的な研究が鍵となって きた。表面化学反応機構の解明にはその場観察が重要であり，また， パラメーターを個別に制御して化学反応の過程を詳細に追跡すること が必要である。