合成金刚石薄膜生长工艺的研究

摘要

采用一种快速生长金刚石薄膜的直流等离子体弧焰合成法，进行生长金刚石薄膜的实验．讨论了生长金刚石薄膜时各种工艺条件对成膜形态的影响．ＳＥＭ照片与拉曼光谱分析表明，在工艺条件合适时。