高性能双极IC工艺新技术

摘要

1 引言当代双极IC的发展有以下几种趋势:第一,朝着多功能化发展,包括各种数字逻辑功能,模拟功能,数字模拟兼容功能;第二,朝着高性能发展,包括各种高带宽、高速、高精度功能;第三,朝着功能系统化发展,如各种单片功能部件、单片机和单片系统的发展;第四,朝着功能专用化。