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许高斌; 汪祖民; 陈兴;
合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心;
加速度计; SOI; 扇形结构; U型压敏电阻;
机译:用于测量弹丸发射和飞行加速度的单片式高克SOI-MEMS加速度计
机译:用于测量弹丸发射和飞行加速度的单片式高G SOI-MEMS加速度计
机译:基于SOI技术的MEMS差分电容加速度计结构的设计与制造
机译:高成品率的面内SOI MEMS加速度计的设计与制造
机译:动态范围极限条件下的惯性传感器设计:集成式CMOS-MEMS高g和mu g加速度计。
机译:用于低温系数和高线性度的MEMS电容式加速度计的结构设计
机译:用于测量射弹发射和飞行加速度的单片高G SOI-MEMS加速度计
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。
机译:考虑系统参数不确定性的MEMS加速度计设计方法及MEMS加速度计设计方法
机译:考虑系统参数不确定性的MEMS加速度计的设计方法及MEMS加速度计的设计方法
机译:利用SOI晶片和加速度计制造高精度MEMS惯性传感器的方法
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