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乌仁图雅; 周炳卿; 高爱明; 部芯芯; 丁德松;
内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室;
富硅-氮化硅薄膜; 等离子增强化学气相沉积; 射频功率; 沉积速率;
机译:射频功率对非晶碳氮化硅薄膜成分,结构和光学性质的影响
机译:富硅氮化硅薄膜的化学计量对其光致发光和结构性质的影响
机译:射频功率对通过PE-CVD沉积的氢化纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜的结构光学和电学性质的影响
机译:射频功率和沉积压力对富硅氮化硅薄膜结构和性能的影响
机译:氮化硅薄膜中存在的电荷及其对硅太阳能电池效率的影响的研究
机译:Nd含量对富硅二氧化硅薄膜结构和光致发光性能的影响
机译:压力和射频功率对等离子体沉积氢化非晶硅薄膜沉积速率和结构性能的影响
机译:非晶硅薄膜的一些性质及其在传感器中的应用 - (I)功率传感器。
机译:包括多层富硅氮化硅捕获层的非易失性存储结构的设备和方法
机译:用于包括多层富硅氮化硅捕获层的非易失性存储结构的设备和方法
机译:包括非晶硅量子点精细结构的氮化硅薄膜及其制造方法
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