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李春伟; 苗红涛; 徐淑艳; 张群利;
东北林业大学工程技术学院;
东北林业大学林业工程博士后流动站;
河南牧业经济学院包装与印刷工程学院;
高功率脉冲磁控溅射; 高离化率; 物理气相沉积; 辅助装置;
机译:高功率脉冲磁控溅射技术从Ti_2AlN复合靶制备纳米晶薄膜
机译:高功率脉冲磁控溅射技术沉积纳米复合涂层的优势
机译:高功率脉冲磁控溅射和直流磁控溅射技术沉积的低电阻率Ru_(1-x)Ti_xO_2薄膜
机译:结合高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)和直流或中频频率的新型叠加脉冲等离子体技术
机译:用于互连金属化的高功率脉冲磁控溅射和调制脉冲功率溅射的比较。
机译:高功率脉冲磁控溅射
机译:高功率脉冲磁控溅射和不平衡磁控溅射技术相结合产生的多层氮化铬/氮化铌涂层的缺陷生长
机译:提高用于高重复频率,短脉冲,高功率脉冲发生器的功率mOsFET的开关性能
机译:高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)的闪频抑制和脉冲
机译:SP3高功率脉冲磁控溅射工艺,可实现高密度,高SP3含量的层
机译:实现高密度,高SP3含量的高功率脉冲磁控溅射工艺
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