分子束外延及其应用

摘要

＜正＞ 一、引言随着半导体器件的发展而发展起来的分子束外延（MBE）,是一种精密加工新技术。它是在超高真空下,把几个分子束喷射炉置于液氮屏蔽罩内,用需要进行生长的物质或掺杂物分别装入各喷射炉中,将炉温升到各自的蒸发温度产生相应的分子束,连续地打在适当温度的衬底上,实现单晶薄膜生长。分子束外延不仅能生长大面积、厚度和化学组份精确控制、均匀平滑的外延层,而且还能