掺氯氧化物的负偏压不稳定性研究

摘要

由MOS结构C-V特性的测量结果,说明掺氯氧化物负偏压不稳定性的情况,研究了掺氯浓度、应力大小和退火条件对负偏压不稳定性的影响,并对其机理进行了初步讨论。