国外椭偏仪性能简介

摘要

＜正＞各种薄膜工艺参数和质量（厚度、折射率的数值及其均匀性等）的精确、快速测定和控制,在半导体器件生产、研制中有着极其重要的作用.现综合评述美国Rudolph研究公司应用材料公司、Gaertner科学公司和Sagax国际公司开发的从手动到自动椭偏仪系列的几代椭偏仪产品,并和其它薄膜厚度测量技术进行比较.