非等厚金属膜的制备

摘要

＜正＞ 在部分光学系统中,需要透过率有一定梯度的衰减片。这种衰减片的制备方法是在一块透明基板上蒸发一层厚度随位置而改变的金属膜。为改变膜厚,我们设计一块特殊的档板。此档板与被镀基板作相对转动。1.衰减片透过率T（X）我们制备的衰减片是长条形的,要求透过率在长度方向有一定梯度。如果取长度方向为