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黄成强; 夏洋; 陈波; 李超波; 万军; 汪明刚; 饶志鹏; 李楠; 张祥;
中国科学院微电子研究所;
北京100029;
中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心;
浙江嘉兴314000;
图形化蓝宝石衬底; 发光二极管; 光刻; 纳米压印; 刻蚀;
机译:通过有机聚合物辅助热沉积对蓝宝石(0001)衬底沉积在蓝宝石(0001)衬底的转变行为的控制
机译:在c面蓝宝石衬底上使用自组装网状Pt薄膜制作纳米腔图案化蓝宝石衬底
机译:在氢化物气相外延中通过HCl化学反应蚀刻,从m面蓝宝石衬底上实现2 in。独立式m面GaN晶片与m面蓝宝石衬底的新型原位自分离
机译:通过替代供应三甲基铟和氧化亚乙烷的替代(0001)蓝宝石衬底在(0001)蓝宝石衬底上in_2O_3膜的结构和光学性质
机译:氮化镓/蓝宝石界面和蓝宝石衬底上缓冲层的TEM表征通过MOCVD。
机译:通过原位生长硼酸铝晶须来连接氧化铝和蓝宝石以及晶须与蓝宝石衬底的取向关系
机译:三缓冲工艺:在蓝宝石衬底上获得高质量ZnO外延膜的新方法
机译:激光烧蚀超导YBa2Cu3O7薄膜在LaalO3衬底上的生长和图形化
机译:用于生产半导体微电子或光电子部件的蓝宝石衬底的生产包括沿着蓝宝石晶体的晶体学a轴将衬底与蓝宝石晶体分离。
机译:制备涂覆有半导体材料的蓝宝石衬底的方法,通过该方法可获得的涂覆的蓝宝石衬底以及这种衬底在发光二极管中的用途
机译:制造涂覆有半导体材料的蓝宝石衬底的方法,通过该方法可获得的涂覆的蓝宝石衬底以及具有这种衬底的发光二极管
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