LED蓝宝石图形化衬底制备工艺研讨

摘要

近年来发展起来的蓝宝石图形化衬底（PSS）技术，不仅能减少生长在蓝宝石衬底上GaN外延材料的位错密度，延长LED使用寿命，还能提高LED芯片的出光效率，从而提高LED发光效率。本文着重介绍了蓝宝石图形化衬底的两种主流制备工艺及其优缺点，并比较了两种不同图形尺寸制备蓝宝石图形衬底的特点及对LED的光输出功率的改善，并展望了图形化衬底技术未来的发展方向。