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苏丹; 赵江山; 王倩;
中国科学院微电子研究所,北京100094;
北京市准分子激光工程技术研究中心,北京100094;
中国科学院大学,北京100049;
准分子激光; 气体放电; 流体模型; 预电离; 击穿电压;
机译:非均质预电离条件下压力和施加电压对准分子激光等离子体特性演变的影响
机译:预电离XeCl准分子激光器和紫外光谱特性的研究
机译:ArF准分子激光退火对Ag纳米颗粒形貌和表面等离子体共振特性的影响
机译:具有不同激励电路的放电泵浦ArF准分子激光的X射线预电离时序
机译:ArF准分子激光角膜消融:激光重复频率和基本激光-组织耦合的影响。
机译:关于影响伊朗军事医院员工应对危机有效性的因素的探索性因素分析数据
机译:缺陷参数之间的耦合效应对预裂试样强度特性的影响:响应面法和分形法的应用
机译:分析火焰稳定器特性对稀薄,预混合,部分汽化的燃料 - 空气混合物质量和氮氧化物排放的影响
机译:特殊准分子激光中的预电离装置,特别是用于X射线预电离的气体激光器中的预电离装置
机译:盐酸盐作为光生酸剂和光阻组合物,其组成适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻和ARF浸没光刻
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