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汪为民; 王强; 邱传凯; 陈泽祥; 范斌;
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209;
电子科技大学光电信息学院,成都610054;
中国科学院大学,北京100049;
MEMS; 静电平行板驱动器; 变形镜; 弹性系数;
机译:静电活塞阵列致动MEMS可变形镜的数学建模与分析
机译:基于遗传算法的静电致动器可变形镜特性优化空间轮廓的方法
机译:基于静电排斥力驱动器的19元分段MEMS变形镜
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:平行板静电驱动mEms谐振器的节能全程振荡分析
机译:设计和制造用于空间mEms变形镜的波纹膜静电致动器
机译:MEMS镜的平行板静电驱动
机译:平行板静电驱动MEMS反射镜
机译:基于柔性基板弯曲条件的RF MEMS静电驱动开关微波特性分析方法
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