QFT在高速线性电机直接驱动平面运动定位控制系统中的应用

摘要

研究定量反馈理论(QFT)在高速直线电机直接驱动平面运动定位系统控制中的应用问题.该系统采用三闭环(即电流,速度,位置)串级反馈控制加前馈补偿结构.基于8台不同机器上实际测得的频域特性,所设计的QFT高阶鲁棒控制器可以大大降低该系统在大加速度运动状态下所呈现的谐振不确定性.同时,该控制器对传感器噪声和干扰也具有较好的抑制能力.在最大加速度达到6.8g的给定运动轨迹条件下,通过在批量生产的打线机(用于半导体封装)平面运动定位系统的实验结果证实了该方法的有效性.