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晶圆制造厂改扩建中的二次配管

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介绍了晶圆制造厂改扩建中二次配管的施工方法,通过与施工过程中各相关人员的协调,在保证安全情况下使二次配管的施工做到质量达标、进度合理,同时有效地降低了工程费用.

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来源
《洁净与空调技术》 |2016年第4期|98-110|共13页
作者
林博强;
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作者单位

中国科学院微电子研究所;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
二次配管; 安全; 质量; 协调;

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