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李运堂; 吴进田; 梁宏民; 赵静一; 贾宇宁;
中国计量学院机电工程学院,杭州 310018;
单片机; 步进电机; 控制系统; 静压气体轴承;
机译:真空兼容的静压气体轴承-使用静压气体轴承和气动执行器的半导体暴露装置
机译:真空兼容静压气体轴承半导体曝光装置,采用静压气体轴承和气动执行器
机译:提高住宅风管通风系统设计方法可靠性的研究:第二份报告-风量-静压特性测试方法在各种通风系统构件中的应用以及基于静压损失计算的通风系统设计方法的验证
机译:静压气体轴承主动阻尼控制研究(第一报告:清洁压力控制轴承特性改善的可能性)
机译:基于现代控制理论的线性多元控制系统设计。
机译:混合电磁轴承转子系统的性能和深度学习动态特性分析的弹性箔气体轴承
机译:自动控制系统设计微控制器的振动地板的研究ATMEGA32 AVR(工作系统设计实验室与科学案例研究人机工程学
机译:气体轴承设计图表。第2卷。静压气体轴颈轴承和静压气体推力轴承
机译:静压气体轴承,用于真空环境的静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
机译:使用多孔质静压气体轴承的多孔质静压气体轴承以及多孔质静压气体轴承的轴承材料
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