真空対応型静圧気体軸受－静圧気体軸受と空気圧アクチュエータを用いた半導体露光装置

摘要

抽空圧技術と半導体露光装置、この無関係と思われる技術を結びつける、また気体軸受けを高真空環境に持ち込むという無謀とも思える技術開発の成果を紹介する。 一般的に油空庄と言えば高圧の領域と考えられており、真空技術と空圧技術は全く別の分野として扱われるがJISの定義に依れば「真空とは通常の圧力よりも低い圧力の気体で満たされた空間の状態」ということであり、真空領域にも圧力は存在する。 従って筆者は真空も空圧技術であると認識している。 また、空気圧シリンダーに代表される空圧技術は動圧のイメージが強いが筆者が過去10数年開発に携わっている空気軸受けは静圧であり、この点を捉えても少し奇異な印象を与えかねないが、常識的な油空圧技術者諸兄に一風変わった空圧技術ということで紹介をさせて頂く。