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杨川; 吴大兴;
不详;
蓝宝石 ; DC-PCVD; TiN ; 薄膜 ; 沉积 ;
机译:蓝宝石基材上溅射沉积晶体增长及拓扑绝缘体BISB薄膜的表征
机译:在金属-绝缘体-金属和金属-绝缘体-硅电容器中使用原子层沉积或物理气相沉积TiN作为电极材料的差异
机译:LiNbO_3薄膜在蓝宝石和金刚石基底上的取向可控沉积,用于声表面波装置
机译:蓝宝石上的硅和绝缘体上的硅装置中质子引起的单事件不安的角效应
机译:蓝宝石技术上使用CMOS硅的集成式DC-DC升压转换器。
机译:先进的绝缘体上硅:原子层上沉积的结晶硅沉积氧化铍
机译:LiNbO3薄膜在蓝宝石和金刚石基底上的取向可控沉积,用于声表面波装置
机译:在蓝宝石上硅和绝缘体上硅器件中质子引发的单事件扰动的角效应
机译:用于执行pCVD沉积方法的过程以制造预成型件并制造光纤的设备,烤箱和用于执行沉积pCVD的过程的方法
机译:基于先进的绝缘体上硅(SOI),蓝宝石上硅(SOS)和无硅上空(SON)技术的高效,可扩展CMOS性能的方法
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