氧化锌基乙醇气体传感器研制及特性研究

摘要

利用水热法合成了不同形貌的ZnO基纳米结构气敏材料,利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对其进行了结构表征和分析.制备成旁热式气体传感器,测试了其对乙醇(C2 H5 OH)的气敏特性.实验结果表明:基于ZnO纳米花制作出的传感器比纳米球状传感器对C2H5OH具有更高的灵敏度,在200℃下对50×10-6的C2H5OH灵敏度为34.7,是球状ZnO基传感器的1.7倍;两种ZnO基传感器对C2 H5 OH均表现出较好的重复性,在最佳工作温度下对C2 H5 OH的响应恢复时间均在15秒以内;最后对ZnO基C2 H5 OH气体传感器的气敏机理进行了讨论.