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LIGA技术在微传感器制造中的应用

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LIGA是德文:LI(Rontgen Lithogra-phie)、G(Galvanik)和A(Abformung)三词词头拼合而成.意思是X射线光刻、电铸成型和塑料铸模三个手段顺序组合,进行操作的一种新技术,它是微细加工的一种新方法.它的典型工艺过程见图1([1.4]).

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来源
《传感技术学报》|1997年第1期|76-78|共3页
作者
揭景耀;
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作者单位

华东交通大学;

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正文语种 CHI
中图分类 TP212.05;
关键词
微传感器; 制造; LIGA技术;

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